第(2/3)页

    在EUV光刻机超过10万个零件之中，来自硅谷光科集团的微激光系统、德国蔡司的镜头和Cymer的EUV光源是最重要的三环。

    一九九七年英特尔牵头创办了EUV    LLC联盟，随后阿斯慢作为惟一的光刻设备生产商加入联盟，共享研究成果；二零零零年，阿斯慢收购了花旗国光刻机巨头SVGL(硅谷光刻集团)；二零一二年，阿斯慢收购EUV光源提供商Cymer，此前Cymer就和阿斯慢已经合作已久。

    二零一六年，阿斯慢公司取得光学镜片龙头，德国蔡司百分之二十四点九的股份，以加快推进更大数值孔径（NA）的EUV光学系统。

    这些收购使得阿斯慢几乎参与了整个EUV光刻上游产业链。

    但收购花旗国企业的过程，使阿斯慢必须同意，在花旗国建立一所工厂，和一个研发中心，以此满足所有花旗国本土的产能需求。

    另外，还需要保证百分之五十五的零部件，均从美国供应商处采购，并接受定期审查，这也为日后阿斯慢，向华夏国出口光刻机受到花旗国管制埋下了伏笔。

    EUV设备在下游市场供不应求。由于上游零部件供应不足（如蔡司的镜头），阿斯慢的EUV光刻机产量一直不高，而下游市场对7nm制程的需求却十分旺盛。2011年英特尔、三星和台急电共同收购阿斯慢23%的股权，帮助阿斯慢提升研发预算，同时也享受EUV光刻机的优先供应权。

    近年来，阿斯慢已经出货的EUV光刻机主要优先供应给台积电、三星、英特尔等有紧密合作关系的下游厂商。目前所有中国企业中，还没有任何一家企业，能够从阿斯慢订购到EUV光刻机。

    而且此时的华夏企业，对于阿斯慢的EU∨光刻机，似乎并没有很迫切的需求，毕竟阿斯慢公司的浸润式DUV光刻机，并没有停止出口华夏市场，而且星光科技集团也能生产DUV浸润式的光刻机，完全可以满足国内的需求。

    至于10纳米以下的制程工艺，华夏国内的市场需求银少，所以更高端的极深紫外线EUV光刻机，华夏国内的市场需求并不迫切。

    可是全球智能化科技，是在飞速发展的，随着科技的发展，人民对于芯片的要求会越来越高，几年之后，全球会向5G，甚至6G技术发展，那个时候要用到的智能芯片，必须要用5纳米以下的制程技术，甚至是1纳米的制程技术。

    那个时候，再怎么研究推进，浸润式DUV光刻机，也不可能达到5纳米以下的制程技术。

    研发投深紫外线暴光技术的EUV光刻机，便是最终无法绕开的办法。

    可是华夏的光刻机研发生产企业，除了一个星光科技集团，就只有沪上的微电子集团了。

    可微电子集团的光刻机技术，比星光科技集团尚且差了不少的距离，更别说和国外的几大光刻机企业相比了，微电子集团的光刻机技术，现在还停留在90纳米的制程工艺上。
    第(2/3)页